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普發真空：韓國半導體展會上展示真空欧美综合图区
日期：2025-04-25 03:59
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摘要：
全球的真空供應商 Pfeiffer Vacuum (普發真空) 將於2014年2月12至14日參加韓國首爾舉辦的 Semicon Korea 韓國半導體展覽會。屆時參觀者可到展台與 Pfeiffer Vacuum (普發真空) 就其真空欧美综合图区交流意見。“99热在线精品免费播放6很高興能在 Semicon Korea 韓國半導體展覽會上隆重介紹99热在线精品免费播放6重要的真空欧美综合图区。99热在线精品免费播放6憑借這些新的產品樹立整個真空行業的新標杆”，Pfeiffer Vacuum Technology AG 公司董事會成員 Matthias Wiemer 博士如此說道。Pfeiffer Vacuum (普發真空) 將在 D 廳 5730 號展台展示新產品：
A4 係列幹式国产专区在线
A4 係列無油多級羅茨泵的抽氣速度可達 100 至 1700 m3/h。這種節能且的泵是應對半導體和鍍膜工業中苛刻工藝要求的理想選擇。耐腐蝕材料和較高的氣體流量使此係列的泵適用於，例如 CVD工藝。
A 200 L 幹式国产专区在线
A 200 L 無油多級羅茨泵具有體積小、抽氣速度快且時間短的特點。幹式国产专区在线適合在潔淨室內運行，適宜用於潔淨環境，如Load-Lock和Transfer工藝流程，以及其他無腐蝕性應用。此外，A 200 L 還易於集成到半導體生產設備中且在節能方麵表現。
磁懸浮渦輪分子泵 ATH 2804 M 和 ATH 3204 M
ATH-M 係列磁懸浮渦輪分子泵采用一個有源 5 軸磁懸浮軸承來監測轉子的位置。這種軸承在實現高速安靜運轉的同時，也能長期的穩定性和性。高国产专区在线配備上的這項以及的抽氣能力，使其成為半導體生產，是蝕刻工藝，以及許多其他工業應用的不二選擇。
Pfeiffer Vacuum (普發真空) 還將出席2014年3月18 至20日上海舉辦的 Semicon China 半導體展覽會。
Semicon Korea 韓國半導體展覽會地址：
Convention & Exhibition Center (COEX)
159 Samsung-dong, Gangnam-gu,
Seoul 135731, Korea
D 廳 5730 號展位
Pfeiffer Vacuum 的 A4 係列幹式国产专区在线
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磁懸浮渦輪分子泵 ATH 2804 M 和 ATH 3204 M
ATH-M 係列磁懸浮渦輪分子泵采用一個有源 5 軸磁懸浮軸承來監測轉子的位置。這種軸承在實現高速安靜運轉的同時，也能長期的穩定性和性。高国产专区在线配備上的這項以及的抽氣能力，使其成為半導體生產，是蝕刻工藝，以及許多其他工業應用的不二選擇。
Pfeiffer Vacuum (普發真空) 還將出席2014年3月18 至20日上海舉辦的 Semicon China 半導體展覽會。
Semicon Korea 韓國半導體展覽會地址：
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Seoul 135731, Korea
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